半导体微孔陶瓷真空吸盘 陶瓷真空吸盘 Ceramic Vacuum Chuck Table

微孔陶瓷真空吸盘平面度、平行度高，微孔分布均匀，透气性好，吸附力均匀，光滑细腻。

加工对象：2、3、4、5、6、8、12 英寸及非标定制。

应用行业：应用于国内外半导体行业、电子器件、薄膜制品等需要真空吸盘设备的行业

参数：

底座及边框可选材质：铝合金、不锈钢、陶瓷、塑料等。

尺寸范围：Ø5mm-Ø800mm

微孔尺寸：20-60um

气 孔 率：30-50%

可根据客户需求设计和定制各种非标吸盘。